1、卡盘的润滑处理，定期对卡盘涂抹润滑剂，保证卡盘在运动时仍能有较高的精度。在润滑时需要注意，不正确的润滑可能会造成气动卡盘在低气压时不能正常工作，夹持力减弱，夹持精度不良，磨损异常或卡住，所以在润滑时需注意正确的润滑操作。

2、使用二硫化钼油脂，通常为黑色脂状，油脂注入卡盘油嘴内直到油脂溢出卡爪面或卡盘内孔处。若卡盘长期高转速运作或长时间使用氧气辅助加工，则需要更多润滑，须根据实际工作情况来调整润滑频次。

3、每隔一段时间加工完成后，需使用高压喷头对卡盘本身和滑道处灰尘残渣进行处理。建议3-6个月一次对卡盘夹爪进行清理，以保持表面洁净，并给予润滑。检查各零部件有无破裂及磨损之情形，磨损严重情况时对其进行更换。检查完毕后，对夹爪进行正确的润滑，安装后方可使用。